氮化硼作为一款成熟的工业产品,其生产技术显然不止一种,下面我们将逐一解析氮化硼的工作生产制备技术。化学气相沉积法(CVD)CVD法制备氮化硼粉一般采用热壁式反应器,将含B、N的气态原料通过载...
氮化硼作为一款成熟的工业产品,其生产技术显然不止一种,下面我们将逐一解析氮化硼的工作生产制备技术。
化学气相沉积法(CVD)
CVD法制备氮化硼粉一般采用热壁式反应器,将含B、 N的气态原料通过载气导入到一个反应室内,在高温下 气态原料之间发生化学反应生成BN粉,其中硼源普遍采 用BF3、BCI3、BBr3或B2H6等含硼的化合物,氮源一 般是NH3或N2。 CVD法制备的h-BN粉末纯度和球形度都较高,但 在制备过程中需要对多种因素进行精确控制。
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