六方氮化硼应用,六方氮化硼生产批发厂家

固态氮化硼是什么

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固态氮化硼是什么

宏元新材化工原料厂家的小编今天给大家介绍下关于固态氮化硼是什么的相关介绍,人们是一家生产销售六方氮化硼,白石墨氮化硼的化工原料厂家,已有50年的生产工艺经验,人们的六方氮化硼是一种固体白色粉末,那么什么是固态氮化硼呢?什么是固态氮化硼扩散呢?一起来看看吧!

过去很长一段时间,液态硼酸三甲酯被用作P型杂质扩散源。在实践中,人们认为硼酸三甲酰酯作为p型杂质扩散源存在均匀性、重复性不理想、较难控制、热分解过程中析出原子碳腐蚀石英管等缺点。因此,按照毛主席的教导,需要寻找更理想的p型杂质扩散源。在以往使用二氧化硼和氮化硼的认识基础上,通过反复实验证明,氮化硼的固体扩散源优于硼酸三甲酯的液体扩散源。
所谓扩散技术,是指在半导体中引入杂质,使其在半导体的特定区域内具有一定类型的导电性和一定的电阻率的方法。目前,制备p-N结最重要的方法是扩散法。对于硅平面器件来说,整个器件的结构和性能基本上是由扩散过程决定的,扩散过程是由材料分子或原子的热运动引起的自然现象。浓度差的存在是扩散运动的必要条件,环境温度是决定扩散运动速度的重要因素。扩散遵循的客观规律可以用扩散第一定律和扩散第二定律来描述。
在扩散过程中,砖石、磷等杂质的扩散通常分为预沉积和再分布两步。在预沉积期间,扩散发生在恒定的表面浓度。在这种情况下,求解扩散方程得到的扩散分布是一种残差函数,而在再分布过程中,扩散是在有限源条件下发展的。整个扩散过程中的杂质来源仅限于扩散前硅片表面无限薄层中积累的杂质总量Q,没有外来杂质补充。
氮化硼固态扩散工艺的实验步骤
1.烧源;
将粉状氢化硼均匀地铺在干净的石英箱盖下表面,然后在炉温1050℃、氧气流量300ml/min的条件下,慢慢推入石英管内的恒温区,燃烧至30-40分钟直到透明。
2.扩散片的清洗
与氧化过程相同。
3.氮化硼的活化及试片
除了新鲜的燃烧源外,氮化硼必须每天在扩散前激活一次。方法是在950℃的扩散温度下通氧30分钟,使表层氮化和氧反应生成两个氧化物脱落。反应式
如下:
4BN+302(加热反应)2B203+2N2
在扩散过程中,B2O3与Si表面反应如下。
2B203+3Si=3SiO2+4B
活化半小时后,更换氮气,取出石英盒装入试样进行膨胀试验。当方阻满足要求时,即可正式落膜。
4.硼预沉积
将炉温调至960℃,氮气流量为500ml/min,将硅片面朝上放入石英盒中,然后盖上石英盒盖,源面朝下。炉口预热5分钟,然后推入恒温区预沉积20分钟。一般平方电阻值为30-40Ω。
5.硼再分配
将预先沉积的硅片置于稀氢酸中以浮去硼硅酸盐玻璃,然后重新分布。炉温1150℃,水浴温度95℃,氧气流量500ml/min,再分配时间10分钟(干氧)+30分钟(湿氧)+10分钟(干氧),后阻隔电阻R=100~140Ω。
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